| 参数类别 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 精度指标 | 测量分辨力 | 100nm / 300nm(可选) |
| 线性重复定位精度 | 1SLB | |
| 运动指标 | 最大测量速度 | 4m/s |
| 最大加速度 | 最高35G | |
| 电气特性 | 供电电压 | DC 4-6V |
| 功耗 | ≤1.5W(无负载) | |
| 接口类型 | TTL差分 | |
| 环境特性 | 工作温度 | 0℃ ~ +60℃ |
| 存储温度 | -20℃ ~ +70℃ | |
| 防护等级 | IP50 |
| 参数类别 | 参数名称 | 参数值 |
|---|---|---|
| 精度分辨力 | 测量精度 | 5nm/ 10nm / 20nm / 50nm / 100nm (可选) |
| 线性重复定位精度 | 1LSB | |
| 运动指标 | 最大测量速度 | 2m/s |
| 最大加速度 | 35G | |
| 电气特性 | 供电电压 | DC 4.4-5.5V |
| 功耗 | ≤1.2W(无负载) | |
| 接口类型 | TTL差分 | |
| 环境特性 | 工作温度 | 0℃ ~ +60℃ |
| 存储温度 | -20℃ ~ +70℃ | |
| 防护等级 | IP50 |